氦氣主要起到載氣的作用，氦氣在液氮溫度下不被吸附，同氮氣一起形成混合氣體，可以起到調節氮氣濃度的作用，從而調節氮氣分壓。同時，氦氣與氮氣的導熱系數相差很大，在經過熱導池檢測器時，氮氣濃度能夠很容易的被準確檢測出來。